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真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽？能做什么？怎么用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。

2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。

3，怎么用？一般就是把真空计的物理接口，KF接口或者是螺纹接口接到腔室上，然后把真空计的电气接口接到电脑或者的显示仪表上。这样就可以测量腔室的真空度，也能看到真空度具体的数值了。

4，注意，真空计是有分类的，有的适合测量低真空，也就是压强大一些的；有的适合测量高真空，也就是压强小一些的。一般常用的是热电偶真空计，皮拉尼真空计，冷阴极真空计，电离真空计。

自己接触过的真空计有电离式，皮拉尼式和冷阴极式真空计。

具体各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次补上，一块学习。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶Σ-Δ调制器组成，利用0.25umCMOS技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5V，功耗约为6mW。电路的灵敏度可以达到2.5V/pF，分辨率可达到4aF。为满足不同应用的需求，PérezSanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umCMOS技术制造，供电电压为1.8V，能耗约为10mW。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mV/fF，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mV/fF。Awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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为了更好地使装置作用强，可以校准不一样品种的真空计，要确保装置测量范围充足宽、高精度。研发人员选用多种多样计量检定方式，将静态数据比较分析法、动态性比较分析法、动态性总流量法等集成化在一起。因为各种各样方式 的基本原理、构造均不同样，乃至很有可能互相干预，研发人员持续重复地完成梯度下降法实验，创新能力地将他们设计方案组成在一起，完成宽测量范围、高精密的校准。

与此同时还具有扩展作用插口，有利于扩展标准孔板校准、测漏等作用，解决了一直以来真空校准装置沉重没法带上到当场只有在试验室校准的瓶颈问题，完成了当场真空计的准确校准。应用携带式真空计校准装置“小直尺”都发生在哪儿？携带式真空计校准装置自研发代迄今，近年来，商品获得30好几家企业的运用。“小直尺”充分发挥着“大功效”，在嫦娥系列月球探测仪、火星探测器、空间站、北斗导航等重要航空航天型号规格工作的研发实验及发送中获得了巨大运用；

在处理芯片、行波管、大气电气设备、真空泵元器件、高精密时钟、充电电池等生产全过程/生产机器设备的定时校正中也激发着关键功效；与此同时，在飞机发动机、、巡航等的实验与生产，特种钢材冶炼厂、高纯气体制备、装备生产当场都曾发生携带式真空计校正设备的小影子。高新科技要发展趋势，计量检定须优先。

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